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男,山东日照人,副教授,硕士生导师
电子邮箱:ankang@ncut.edu.cn;ank_diamond@163.com
通信地址:北京市石景山区晋元庄路5号suncitygroup太阳新城
近年来,主持和参与科研项目10余项,发表论文40余篇,其中第一或通讯作者论文10余篇,授权专利多项。
个人简历
2022.07-至今 suncitygroup太阳新城 suncitygroup太阳新城 副教授(“北方学者”系列计划资助)
2020.07-2022.06北京科技大学 顺德研究生院 联培博士后
2019.07-2022.06北京科技大学 新材料技术研究院 博士后
2019.07-2020.06北京科技大学钢铁冶金新技术国家重点实验室 博士后
2019年6月获得北京科技大学材料科学与工程博士学位
教授课程
《金属凝固理论及应用技术》、《物理化学》
研究领域
金刚石装备设计及制造
金刚石沉积工艺
金刚石基半导体
主持和参与的科研项目
1. 超强金刚石厚膜介观孪晶异常生长与力学增强机制
国家自然科学基金(青年项目) 2022.01-2024.12 主持
2. 英寸级金刚石晶圆研制及半导体化
中央高校基本科研业务费 2021.03-2021.11 主持
3. 大尺寸取向金刚石生长与半导体器件研究
青年教师国际交流成长计划项目 2021.07-2022.06 主持
4. 大尺寸光学级金刚石制备、加工与综合性能研究
科技部重点研发计划 2021.07-2023.06 主要参与
5. CVD金刚石膜非平衡高温热处理强韧性协同提升机制
博士后经费 2020.07-2022.06 主持
6. 光学吸收器件直径60mm超薄金刚石涂层研制
校企间合作项目 2021.01-2021.12 主持
7. xxx红外窗口材料
国家级项目 2021.3-2023.2 主要参与
8. xxx热力学分析与金刚石散热技术
国家级项目 2019.12-2024.12 主要参与
9. xxx微槽道技术
国家级项目 2017.1-2020.12 参与
科研论文和专利
1.Weiwei Zhang*, Guoqiang Du, Hongming Chen,Kang An*. Enhanced transverse magneto-optical Kerr effect using ferromagnetic metalperforated with nanopore arrays [J]. Physical Chemistry Chemical Physics, 2023.(二区TOP,已接收,通讯作者)
2.Dan Zheng, Xiang Zhao,Kang An*, et al., Effects of Fe and graphite on friction and wear properties of brake friction materials for high-speed and heavy-duty vehicles [J]. Tribology International, 2023,178: 108061.(一区TOP,通讯作者)
3.Weiwei Zhang*, Yao Lu,Kang An*. Fabry–Perot interference enhanced transverse magneto-optical Kerr effect in Ce:YIG nanopore array on an anodic aluminum oxide template [J]. Journal of Optics, 2022, 25(2): 025402.(通讯作者)
4.Kang An1,*, Peng Liu1, Siwu Shao, et al. Exploring three-point-bending fracture toughness of thick diamond films from different directions[J]. Surface and Coatings Technology, 2022, 448: 128888.(一区TOP,通讯作者)
5.Kang An1,*, Shiyu Li1, Siwu Shao, et al., Evaluation of the fracture strength of ultra-thick diamond plate by the three-point bending ISO standard method [J]. Ceramics International, 2022, 48(12): 17942-17949.(一区TOP,通讯作者)
6.Kang An1,*, Shuai Zhang1, Siwu Shao, et al., Effects of the electric field at the edge of a substrate to deposit a Ø100 mm uniform diamond film in a 2.45 GHz MPCVD system [J]. Plasma Science and Technology, 2022, 24(4):045502.(通讯作者)
7.Kang An, Liangxian Chen, Xiongbo Yan, et al., Fracture strength and toughness of chemical-vapor-deposited polycrystalline diamond films [J]. Ceramics International, 2018, 44(15): 17845-17851.(一区TOP)
8.Kang An, Liangxian Chen, Xiongbo Yan, et al., Fracture behavior of diamond films deposited by DC arc plasma jet CVD [J]. Ceramics International, 2018, 44(11): 13402-13408.(一区TOP)
9.Kang An, Liangxian Chen, Jinlong Liu, et al., The effect of substrate holder size on the electric field and discharge plasma on diamond-film formation at high deposition rates during MPCVD[J], Plasma Science and Technology, 2017, 19(9): 095505.
10.Kang An, Shengwang Yu, Xiaojing Li, et al., Microwave plasma reactor with conical-reflector for diamond deposition[J]. Vaccum. 2015, 117: 112-120.
11.张帅,安康,杨志亮,等,新型MPCVD沉积模式制备高均匀性的Ø100 mm金刚石薄膜[J].真空与低温,2022,28(05):549-555.
12.张帅,安康*,邵思武,等,MPCVD金刚石薄膜微波功率和沉积压力匹配性研究[J].人工晶体学报,2022,51(5):910-919.(通讯作者)
13.李世谕,安康*,邵思武,等,CVD金刚石膜激光平整化效率和粗糙度[J].金刚石与磨料磨具工程,2022,42(1):1-8.(通讯作者)
14.安康,刘金龙,林亮珍,等,单晶金刚石外延层生长工艺研究[J].表面技术,2018,48(11):195-201.
15.刘金龙,安康,陈良贤,等. CVD金刚石自支撑膜的研究进展[J].表面技术,2018,47(04):1-10.
16.安康,刘小萍,李晓静,等.新型高功率MPCVD金刚石膜装置的数值模拟与实验研究[J].人工晶体学报,2015,44(6):1544-1550.
17.安康,李成明,陈良贤,等,一种M形同轴天线915MHz微波等离子体化学气相沉积装置[P],2021,ZL2021106342483.
18.安康,李成明,邵思武,等,抑制金刚石膜研磨抛光裂纹萌生与扩展的夹具及使用方法[P],2021,ZL2021100777621.
19.安康,许光宇,刘峰斌,等,用于长时间沉积金刚石的真空装置测温窗口[P],2022,CN2022230329817.
20.李成明,安康,陈良贤,等.一种制备高质量金刚石的气体循环系统,2018,CN208869656U.
科研成果
1.基于当前微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置优缺点,先后设计出椭球型、圆柱型、椭球圆柱型和三角锥型等多款可调谐复合模式15kW级2.45GHz MPCVD设备;改善了微波聚焦能力,提高了等离子体密度和调谐性能,可高速率长时间稳定沉积均匀高质量金刚石膜;已经成功应用于2英寸高导热金刚石基GaN和SiC半导体晶圆沉积,部分装置可稳定生长直径100mm以上多晶金刚石膜。目前自主知识产权的75kW级915MHz可调谐MPCVD装置已经研制成功,发明专利已授权,正在进行产业化迭代升级;
2.通过CVD技术沉积了直径125mm、厚度6.5mm的多晶金刚石膜板,基于多晶金刚石膜研、抛技术,制成符合ISO国际标准尺寸(36 mm×4 mm×3 mm)的力学性能检测试样条,获得全球首份金刚石断裂强度CNAS检测报告。曾参与北斗卫星系统核心部件高导热金刚石扩热板研制工作,相关工作已经用于国内半导体散热领域。
主要荣誉
2019年“高压等极端条件科学与技术”全国博士后论坛“优秀海报奖”
2019年北京科技大学“优秀毕业生”
2018年北京科技大学“吴佩芳特种奖学金”
2018年北京科技大学“第十四届研究生学术论坛优秀论文”
2016年10th International Conference on New Diamond and Nano Carbons“Bronze Young Scholar”